ウェハーUV照射器

UV 硬化装置　ウェハーUV 照射器

コンパクト、ローコストウェハーUV 照射器、波長交換機構付き
UV 硬化装置　ウェハーUV 照射器



6インチ
8インチ
12インチ
ウェハー対応

12 インチウェハーイメージ

12インチウェハー用も製作可能

  • rohs2
  • custom_supported_allowed

特長

● UV 照射の光源にLED を採用したダイシングテープのUV 硬化装置
● UV 照射強度は、ボリュームツマミで調整可能(0 ～ 100％ )
● UV 照射器の簡易取付構造によりUV 照射器を他波長に簡単交換可能
● N2 パージ機構採用により、UV 硬化の酸素阻害を低減
● N2 プレパージ機構採用により余分なUV 照射時間をカット
● N2 パージ量はフローメーターのバルブによりコントロール可能

引き出して照射器交換

引き出して内部の照射器を交換可能

用途例


●バックグラインド時のウェハー保護フィルム硬化
●ダイシング後のUV 硬化型ダイシングテープの硬化
●研究開発、実験用途
●少量生産用途

各部名称

UV-LED 照射面 UV-LED 照射タイマー 液晶ディスプレイ 非常停止ボタン フローメーター 調光パネル POWER ボタン インターロックON/OFF スイッチ START ボタン プリパージタイマー 窒素ガス供給口( 背面)

半導体の製造プロセス(後工程)

ウェハー照射器を用いた半導体の製造プロセス(後工程) 回路形成表面保護 テープ貼り付け 裏面研磨ウェハー固定用 テープ貼り付け 裏面保護 テープ剥離 実装ピックアップ 紫外線照射 ウェハー切断 ハー

外形図

代表例：MUVBA-0.4 × 0.6 × 0.2

MUVBA-0.4 × 0.6 × 0.2外形図

※製品改良のため仕様を変更することがありますのでご了承ください

データ代表例

測定位置

ウェハー照射器　測定データ

ウェハー照射器　測定データグラフ

※掲載しているグラフは参考例です　製品の品質を保証するものではありません

ラインアップ一覧

  • MUVBA-0.4×0.6×0.2

    MUVBA-0.4×0.6×0.2

    照射器タイプ発光波長N2ガス流量本体寸法 W/D/H[mm]入力電源電圧[V]
    UV-LED面照射器365nm 385nm 395nm 405nm から選択可能1～10NL/min(流量調整可能)350 × 600 × 190AC100-240
    照射器タイプUV-LED面照射器
    発光波長365nm 385nm 395nm 405nm から選択可能
    N2ガス流量1～10NL/min(流量調整可能)
    本体寸法 W/D/H[mm]350 × 600 × 190
    入力電源電圧[V]AC100-240
    カタログ＜抜粋＞ PDF図面 DXF図面 取扱説明書 問い合わせ

備考

●その他の波長につきましては弊社営業部までお問合せください