ウェハーUV照射器シリーズ一覧

UV 硬化装置　ウェハーUV 照射器

コンパクト、ローコストウェハーUV 照射器、波長交換機構付き

● UV 照射の光源にLED を採用したダイシングテープのUV 硬化装置
● UV 照射強度は、ボリュームツマミで調整可能(0 ～ 100％ )
● UV 照射器の簡易取付構造によりUV 照射器を他波長に簡単交換可能
● N2 パージ機構採用により、UV 硬化の酸素阻害を低減
● N2 プレパージ機構採用により余分なUV 照射時間をカット
● N2 パージ量はフローメーターのバルブによりコントロール可能