ウェハーUV照射器のシリーズ一覧

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    UV 硬化装置 ウェハーUV 照射器

    コンパクト、ローコストウェハーUV 照射器、波長交換機構付き
    ● UV 照射の光源にLED を採用したダイシングテープのUV 硬化装置
    ● UV 照射強度は、ボリュームツマミで調整可能(0 ~ 100% )
    ● UV 照射器の簡易取付構造によりUV 照射器を他波長に簡単交換可能
    ● N2 パージ機構採用により、UV 硬化の酸素阻害を低減
    ● N2 プレパージ機構採用により余分なUV 照射時間をカット
    ● N2 パージ量はフローメーターのバルブによりコントロール可能