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ウェハーUV照射器

・ボリュームツマミ
 COARSE(租調)とFINE(微調)、2つのボリュームにより、強度を調整します。

・警報ランプ
 DISCONNECT:照射器の断線警報です。
 TEMP :照射部の温度警報です。

・タイマー
 タイマー設定により、UV照射時間をコントロールします。

・スタート&ストップ
 操作感のある機械式を採用、操作間違いを低減します。

・N2パージ流量計
 N2パージ機構を標準搭載しています。
 (UV樹脂硬化阻害対策用)


型名 MUVBA-0.4x0.6x0.1
照射器 UV-LED
主波長 365nm(Typ.)
ウェハーサイズ ダイシングフレーム8インチに対応(6インチステージに交換可能)
外形寸法 W350mm×H185mm×D550mm
装置重量 約20kg
N2ガス 1~10NL/min
※製品の仕様は改良のため予告無く変更する場合がございます。

用途

UV硬化型ダイシングテープ用のUV-LED照射器です。
ウェハーダイシング後の、接着強度低下用に最適です。
外装は、コンタミ発生対策のオールステンレスです。

特長
  • 水銀灯に比べUV-LEDは、圧倒的に長寿命です。
  • LEDですので、ランプ交換の手間を軽減します。
  • 照射熱量は低くワークへの熱ダメージの低減することが出来ます。
  • 瞬時に起動、出力調整が可能になり、少量生産に最適です。

備考

・画像処理用LED照明を各種、取扱いしております。
 目視検査用、画像処理用、ラインセンサー(ラインカメラ)用、ファイバー用光源、
 インク硬化/樹脂硬化/紫外線探傷用にUV照射器など、最適なLED照射照明をご紹介致します。
 ご要望のサイズや色、機能など、お気軽にご相談ください。

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