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ウェハーUV照射器

仕様および外観は改良のため予告なく変更されることがあります。あらかじめご了承ください。 ・カスタム製作可能です。
サイズ、特殊仕様等お気軽にご相談ください。

用途

半導体製造のウェハー加工(ダイシングやバックグラインド)工程において使用される紫外線硬化タイプのフィルムに紫外線(UV)を照射する装置です。 (UVフィルム硬化装置)
ウェハー用ダイシングテープの硬化用途。
波長ごとに照射器交換可。
少量生産用途に最適。
窒素置換(N2パージ)機構採用によりUV硬化時の酸素阻害を軽減。

特長
  • 窒素置換(N2プレパージ)機構付き(UVフィルム硬化装置)。
  • 6インチ、8インチウェハー対応。
  • 12インチウェハー用製作可能。
  • 照射器交換可能(365,385,395,405nm等)。
  • 0~100%調光可能。

型式 LED発光波長 筐体材質 本体寸法[mm] 本体重量[kg] 入力電源電圧[V] 外形図
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外形図
DXF
取扱
説明
MUVBA-0.4x0.6x0.2 365nm,385nm,395nm,405nmから選択可能 ステンレス W350xD595xH190 約20 AC100-240 DL DL DL
備考

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